如果有機(jī)物含有鹵素等其它元素，則氧化產(chǎn)物還有鹵化氫等。廢氣首先通過(guò)蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而后進(jìn)入燃燒室進(jìn)行熱氧化，氧化后的氣體溫度升高，有機(jī)物基本上轉(zhuǎn)化成二氧化碳和水。凈化后的氣體，經(jīng)過(guò)另一蓄熱體，溫度下降，達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)后可以排放。不同蓄熱體通過(guò)切換閥或者旋轉(zhuǎn)裝置，隨時(shí)間進(jìn)行轉(zhuǎn)換，分別進(jìn)行吸熱和放熱。

  其原理是把有機(jī)廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的VOC氧化分解成二氧化碳和水。氧化產(chǎn)生的高溫氣體流經(jīng)特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預(yù)熱后續(xù)進(jìn)入的有機(jī)廢氣。從而節(jié)省廢氣升溫的燃料消耗。陶瓷蓄熱體應(yīng)分成兩個(gè)（含兩個(gè)）以上的區(qū)或室，每個(gè)蓄熱室依次經(jīng)歷蓄熱-放熱-清掃等程序，周而復(fù)始，連續(xù)工作。蓄熱室“放熱”后應(yīng)立即引入部分已處理合格的潔凈排氣對(duì)該蓄熱室進(jìn)行清掃（以保證VOC去除率在95%以上），只有待清掃完成后才能進(jìn)入“蓄熱”程序。